v 功能特點(diǎn)
用于超導(dǎo)量子實(shí)驗(yàn)室制備超導(dǎo)結(jié)（量子比特和約瑟夫森結(jié)）和量子器件，可以制備大面積、高穩(wěn)定性和可重復(fù)性超導(dǎo)結(jié)。
ü 四腔室超高真空系統(tǒng)
ü 進(jìn)樣室（LoadLock,預(yù)處理）
ü 離子銑室（Ion Milling Chamber）
ü 電子束蒸發(fā)室（E-beam Chamber）
ü 氧化室（OXIDATION Chamber）
ü 超高真空傳輸系統(tǒng)(UHV Tunnel integration system)
